第一百二十九章 第一片工业化芯片（1 / 2）

第129章 第一片工业化芯片

李国成把光刻胶涂抹在氧化后的晶圆上，用一个局部真空的吸盘固定住晶圆中心，提起来放入手心轻轻转动，利用离心力把光刻胶均匀地布满整个平面。

完成这一步操作后，李国成暗暗决定，实验完成一定要制造一个甩胶机。还用手转动甩胶，太LOW了。

但是在外人看来，李国成的每一个动作都是非常自信，驾轻就熟，隐有韵律。这可能就是长期修改的好处吧，不经意间就装了个大X。

由于涂抹的光刻胶太薄，静置十几分钟就会干透。

趁着这个空挡，李国成走到光刻机旁边，在底座托盘上放上一片同样规格的晶圆，再一次调整焦距到最佳状态，然后转动紫光部分移动手柄，模拟紫外光刻印一个一个晶圆方格，确定最佳走行距离和最为经济的光刻距离。

完成不知第几次的模拟后，各种参数记在心田。

来到刚才晶圆前，放出念力，检查光刻胶已经干透。用带着橡胶手套的双手捧起晶圆，放入托盘中，四周固定。

启动紫外光，掩膜版上的图形清晰地刻印在指定的方格内，静等9分钟后，在念力中，紫光照射中的光刻胶化学反应完成，并凝固。这样就能保证刻蚀时，留存光刻胶覆盖的晶圆部分。

关闭紫光，拿出晶圆，用放大镜观察。其实这一步是做给外边人看的，只是个样子。实际上在念力的探查下，已经确定光刻机和光刻胶都达到了设计预期。

重新固定好晶圆，按照由上到下，由右到左的顺序，逐个方格刻印。很块就完成了32个收音机专用芯片的刻印。

取下晶圆，来到刻蚀机旁边，首先浸入第一个液体箱，这一次依据验证时的数据，等待30分钟后又延长了2分钟，取出。

其实整个过程都在李国成的念力监控中，延长的2分钟，就是他根据当前去情况调整的。

在大玻璃后面记录的周晓娟，皱了一下眉头，没有说话，只是重点标注了的时间。

放入第二个液体中，这一次的时间没有调整，刚好12分钟。

但是在清洗这个过程中，比之前的工艺多出了5分钟。

下一步是烘干，只是一个非常简易的电热丝加热。很快就完成。

接下来又是繁琐的手工工作，但是这对于有念力的李国成来说反而最没有挑战，不到20分钟就在各个位置放好了需要掺杂的原料。

为了不惊世骇俗，李国成故意又比划了30分钟。至于以后谁负责这道工序，李国成只能为他祈祷了。

没有自动机器，这个工作需要在放大镜下面操作，反复确认后才会再添加一点，直到满足要求。李国成不使用放大镜，是因为在过去两年内，早就展示过他那强大的眼力和控制力。

再次确认没有问题后，把晶圆放入真空扩散炉。

不久之后，李国成拿着晶圆走了出来，大家非常想围拢过来，但是事先提醒过，所以大家让开一个大大的空间。

李国成装模做样地在光学放大镜下认真检查每一个刻蚀后的方格，发现只有两片有瑕疵，其他完全符合设计预期。

然后他来到切割机旁边，非常熟练的完成了32块芯片的切割。这款切割机李国成重新调整电机，并手动制作出线锯绳后，只要操作得当，很少再损坏晶圆。

拿出那两片有瑕疵的芯片，递给了李主任。看着他犹豫的动作，李国成赶忙解释：“没事，这两片是次品，大家可以直接上手看”。